层流式质量控制器原理-层流式质量控制器-科仪创新技术有限公司

质量流量计产品原理

常用的质量流量计/控制器的种类按工作原理分主要有两种:热式和层流式。热式质量流量计/控制器的工作原理为:利用气体流过形成的上、下游温度差来测量质量流量，温度差的大小与质量流量的大小有关，层流式质量控制器，温差越大，层流式质量控制器厂家，质量流量越大。

层流式质量流量计/控制器的工作原理为:利用气体流过形成的上、下游压力差来测量质量流量压力差的大小与体积流量的高低有关，层流式质量控制器厂家，配合气体的密度计算质量流量。

质量流量计产品特点

产品特点，本产品集成触摸显示屏，可以通过显示屏选择待控制气体的种类、压力控制值的大流量体积、精度等，操作方便，实时显示当前流量信息。本产品在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合是:电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。

质量流量计概述

质量流量计是一种用于测量流体质量的仪表，相较于传统的体积流量计具有更高的精度和稳定性。它基于热传导或科里奥利力等原理来工作：在管道中安装一个传感器阵列或多个检测点；当流体流经这些点时会产生相应的电信号变化或者机械振动效应；通过处理和分析这些信号可以准确地计算出流过传感器的质量值以及流速、密度等相关参数信息从而得到准确的测量结果且不受温度压力等因素的影响。